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金属蚀刻技术及类型,你知道吗?

来源:/skjgjszx/648.html发布时间:2022-11-15

       wns威尼斯人-wns威尼斯人是一家专注于金属精密蚀刻企业,自成立以来一直致力于蚀刻产品加工,研发,以及后工序完善的配套工序。企业拥有20000平米生产基地,十七多年的精密wns威尼斯人经验,先后取得ISO9001,IATF16949等认证。产品广泛应用电器、精密五金、通讯产品、汽车零件、装饰板、医疗器械、石油化工、实验科研、应用元件等行业等各个领域,企业工艺集蚀刻、冲压、焊接、CNC,电镀电泳喷油PVD等综合工艺于一体,使客户得到一站式服务。


蚀刻是一种利用化学强酸腐蚀、机械抛光对物体表面进行处理的技术。除了增强美感之外,它还增加了对象的附加值。从传统的金属加工到再到医疗设备制造,都在蚀刻技术的应用范围之内。那么,接下来同进蚀刻跟大家聊聊:什么是金属蚀刻?蚀刻技术的类型有哪些?


一、什么是金属蚀刻?


金属蚀刻是一种通过化学反应或物理冲击去除金属材料的技术。金属蚀刻技术可分为湿蚀刻和干蚀刻。金属蚀刻由一系列化学过程组成。不同的蚀刻剂对不同的金属材料具有不同的腐蚀特性和强度。


金属蚀刻又称光化学蚀刻,是指在金属蚀刻过程中经过曝光、制版、显影,与化学溶液接触后,去除金属蚀刻区的保护膜,以达到溶解腐蚀、形成凸点、或挖空。最早用于制造铜板、锌板等印刷凹凸板,广泛用于减轻仪表板的重量,或加工铭牌等薄型工件。经过技术和工艺设备的不断改进,蚀刻技术现已应用于航空、机械、化工、半导体制造工艺,进行电子薄件精密金属蚀刻产品的加工。

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二、蚀刻技术的类型


1.湿蚀刻:


湿法蚀刻是将晶圆浸入合适的化学溶液中,或将化学溶液喷射到晶圆上进行淬火,通过溶液与被蚀刻物体的化学反应去除薄膜表面的原子,从而达到蚀刻的目的.进行湿法刻蚀时,溶液中的反应物首先通过停滞边界层扩散,然后到达晶片表面,发生化学反应,产生各种产物。蚀刻化学反应的产物是液相或气相产物,然后这些产物通过边界层扩散并溶解到主溶液中。湿法蚀刻不仅会在垂直方向蚀刻,还会有水平蚀刻效果。

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2.干蚀刻:


干蚀刻通常是等离子蚀刻或化学蚀刻的一种。由于蚀刻效果的不同,等离子体中离子的物理原子、活性自由基的化学反应以及器件(晶圆)的表面原子,或两者的结合,包括以下内容:


物理蚀刻:溅射蚀刻、离子束蚀刻


化学蚀刻:等离子蚀刻


物理化学复合蚀刻:反应离子蚀刻(RIE)


干蚀刻是一种各向异性蚀刻,具有良好的方向性,但选择性比湿蚀刻差。在等离子体蚀刻中,等离子体是一种部分离解的气体,气体分子被离解成电子、离子和其他具有高化学活性的物质。干蚀刻最大的优点是“各向异性蚀刻”。然而,(自由基)干蚀刻的选择性低于湿蚀刻。这是因为干蚀刻的蚀刻机理是物理相互作用;因此,离子的冲击不仅可以去除蚀刻膜,还可以去除光刻胶掩模。


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